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MF-AO系列自动烘箱
    发布时间: 2023-06-28 10:43    

MF-AO系列自动烘箱是专门设计用半导体集成电路自动化生产线与现场AGV,ROBOT等自动化配合,实现无人操作,安全生产


MF-AO系列自动烘箱

用途特点:

本产烘箱品适用于半导体加工,LCD面板,PDP面板,触摸屏等生产工艺

技术特点: 

自动化操作系统满足现场无人操作的需求,自动开关门系统完全融入工厂自动化系统中,根据远程指令动作及反馈;

更加安全的烘箱,自动门状态、动作联锁及多重保护措施,避免了系统间干涉出现;

烘箱采用双门设计,自动门实现自动生产,手动门进行保养与应急生产。采用全不锈钢镜面,并且为整体式焊接工艺,保证了烘箱在运行时的腔体内清洁和预防了产品表面沾污;整体框架设计能与外部输送设备机构联动,保证动作一致性

过程控制:

烘箱加热采用多段式程序控制,完全满足现场各种工艺需求;

工厂MES,CIM,EAP配套软件使用,可实现烘箱温度监控,产品运行参数管理与生产运行记录

设备特点:

可以提供各种标准和非标准腔设计,包括温度范围,容量大小和烘箱形状等;

温度均匀度依照GBT30435-2013

设备安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的标准

提供高性价比的烤箱性能。温度均匀性、温度稳定性、温升速率、温度恢复时间等工艺条件;

满足SECS/GEM标准的半导体封装测试设备接口,工厂软件可通过其SECS/GEM接口对烘箱进行全面控制和监控;

提供相应的检测报告,烘箱温度校正报告、烘箱噪音检测、烘箱表面SGS检测等;

配套完整的产品使用手册及说明

   

型号

MF-AO****W/A

1640

2640

循环系统

热风循环系统

性能参数

温度范围

RT. + 25°C~250°C

温度波动范围

0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

温度均匀性

0-100℃<1℃100-200℃<2℃

升温时间

< 30Min175℃&  < 40Min200℃

烘箱结构

烘箱外腔体选材

烤漆板、不锈钢

烘箱内腔体选材

SUS304

保温材料

高密度陶瓷纤维棉

加热

无尘加热丝或不锈钢加热管

冷却方式

水冷却、风冷却、多段式冷却

内腔尺寸W *H *D mm

640 *640* 1100

640 *640 * 550

外形尺寸W * H *D mm

1700 * 1100 * 1840

1800* 1100 * 2040

容积 (L)

160

450

使用环境

温度范围: 小于 + 45°C  湿度范围: 小于 75%rh

动力配置

电源配置

AC380 3PH

AC380 3PH

烘箱功率

13KVA

20KVA

 

基本功能配置:


漏电保护器;

电磁门锁;

加热保险丝;

电源缺相保护;

超温保护器;

低温保护器;

加热器防干烧保护;

马达转速检测保护;

UPS

压缩空气检测;

N2流量检测;

水流量检测;

功能选配:

腔体氧含量在线检测;

高低温联动检测;

腔体压力检测;

自动排风阀;

废气沉淀回收装置;

腔体空烧排污;

腔体内除尘过滤网装置;










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