用途特点：
本产品适用于半导体加工，该烘箱采用垂直热循环方式，进行精确的温度控制。
技术特点：
采用垂直送风系统，垂直腔体模块安装在垂直腔体顶部，与传统安装方式相比，减少安装空间20-60%。提高生产线生产效率，节省设备空间；
内腔采用SUS304拉丝板，并且为整体式焊接工艺，保证了烘箱在运行时的腔体内清洁和预防了产品表面的沾污；
内门结构后门为单结构，采用双密封结构，防止热量流失；
整体框架的高度和水平度可通过地脚螺栓实现微调；
大容积的设计，由于改进了隔断和支撑板，可以同时承受更多的产品重量；
优异的热工性能，使加热性能大大提高,运行时不会影响环境，室内温度保持不变。
过程控制：
多段式程序控制，完全满足现场各种工艺需求；
与配套AUTORECIPE软件，实时温度监控软件，可实现产品烘箱运行参数管理与生产运行记录、烘箱操作日志等，提高生产效率、控制产品品质。
设备特点：
坚持工艺优先的设计原则,即先制定最为优化的工艺配置，再确定设备结构和布局，以确保工艺最稳定，材料利用最合理，力求提升设备稳定性和降低运行成本；
本着人性化的设计理念,即在细节上充分考虑现场情况，并不断完善设计，使现场使用者更加方便地使用，维护本烘箱；
可以提供各种标准和非标准腔体设计，包括温度范围，容量大小和烘箱形状等；
提供高性价比的烤箱性能,温度均匀性、温度稳定性、升温速率、温度恢复时间等工艺条件；
可定制层板，满足承重与间距要求；
温度均匀度依照GBT30435-2013；
设备安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的标准；
满足SECS/GEM标准的半导体封装测试设备接口，工厂软件可通过其SECS/GEM接口对烘箱进行全面控制和监控；
提供相应的检测报告，烘箱温度校正报告、烘箱噪音检测、烘箱表面SGS检测等；
配套完整的产品使用手册及说明。
型号 | MF-OVV**** |
1600 | 1640 | 1800 |
循环系统 | 热风循环系统 |
性能参数 | 温度范围 | RT. + 25°C ~250°C |
温度波动范围 | （0-100℃）<±1℃（100-200℃）<±2℃ |
温度均匀性 | （0-100℃）<1℃（100-200℃）<2℃ |
升温时间 | < 30Min（175℃）& < 40Min（200℃） |
烘箱结构 | 烘箱外腔体选材 | 烤漆、不锈钢 |
烘箱内腔体选材 | SUS304 |
保温材料 | 高密度陶瓷纤维棉 |
加热 | 无尘加热丝或不锈钢加热管 |
冷却方式 | 风冷、多段式冷却 |
内腔尺寸W *H *D （mm） | 600 *600* 1100 | 640 *640 * 1100 | 800 *800 * 1300 |
外形尺寸W * H *D （mm） | 1030 * 950 * 1900 | 1030* 950 * 1900 | 1200 * 1100 * 2100 |
容积 (L) | 360 | 450 | 830 |
使用环境 | 温度范围: 小于 + 45°C 湿度范围: 小于 75%rh |
动力配置 | 电源配置 | AC380V 3PH | AC380V 3PH | AC380V 3PH |
烘箱功率 | 13KVA | 13KVA | 16KVA |
基本功能配置：
电源缺相保护；
漏电保护器；
电磁门锁（气缸门锁）；
过载保险丝；
超温保护器；
加热器防干烧；
马达转速检测；
N2压力检测；
N2过滤调压阀；
选配功能：
在线氧含量检测；
N2流量检测；
高低温表设定联动；
腔体压力检测；
自动排风装置；
废气沉淀回收装置；
